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Vakuumsysteme für die Halbleiterindustrie Vakuum-Komponenten |
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mechatronic systemtechnik gmbh - www.mechatronic.at
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Produkte: Spezialmaschinen für das Handling von verbogenen Wafern und Dünnwafern
Seit 2004 entwickeln und fertigen wir Spezialmaschinen für das Handling von verbogenen Wafern und Dünnwafern in der Halbleiterindustrie, wie TAIKO, MEMS, Film-Frame, eWLB etc. mechatronic Handling-Systeme transportieren Wafer berührungslos und zu 100 Prozent automatisiert. Dazu wurden unterschiedliche Verfahren und Instrumente entwickelt, die je nach Kundenanforderungen eingesetzt werden, wie die Bernoulli- und auch die Vakuum-Technologie. Als weltweit einziges Unternehmen bewegen wir dünne und ultradünne Wafer sowohl auf der Chip- als auch auf der Waferrückseite. |
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